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Keysight B1500A半导体参数分析仪

Keysight B1500A半导体参数分析仪 是一款全自动的精密电流电压分析仪,可以对IV、CV、Pulse/Dynamic-IV进行广泛的测量,也可以对电子设备、材料、半导体的电气特性进行评估,在电子设备测量方面具有较高的可靠性和效率。 B1500A 的模块化系统,可以根据用户对测量的需求,对模块进行添加或升级,很多提供了10个插槽;15英寸触摸屏的嵌入式Windows10系统,可支持支持高效和可重复的设备特性描述,可提供数几百个即时可用的测量应用程序,为测试执行和分析......

产品描述

Keysight B1500A半导体参数分析仪是一款全自动的精密电流电压分析仪,可以对IV、CV、Pulse/Dynamic-IV进行广泛的测量,也可以对电子设备、材料、半导体的电气特性进行评估,在电子设备测量方面具有较高的可靠性和效率。B1500A的模块化系统,可以根据用户对测量的需求,对模块进行添加或升级,很多提供了10个插槽;15英寸触摸屏的嵌入式Windows10系统,可支持支持高效和可重复的设备特性描述,可提供数几百个即时可用的测量应用程序,为测试执行和分析提供了直观和功能强大的操作环境。
B1500A

Keysight B1500A半导体器件参数分析仪特点说明书

在CV和IV测量之间切换,无需重新布线
捕捉其他常规测试仪器无法捕捉的超快瞬态现象
检测1kHz至5MHz范围内的多频率交流电容测量值
使用直观的15英寸触摸屏界面,无需外部PC即可分析数据
配置B1500A与用户选择的测量模块,很多配10插槽在仪器中
使用直观的EasyEXPERT group+软件享受15英寸宽的触摸屏
 B1500A半导体器件分析仪

Keysight B1500A半导体器件分析仪的电流电压测量

精确测量范围为0.1 fA-1A和0.5μV-200μV-
点扫测量
时间采样测量(100μ(很小采样率)
很小脉冲宽度为50μs-500μs
HPSMU、MPSMU或HRSMU
ASU(atto感应和开关单元)可与MPSMU或HRSMU一起使用,以提供0.1 fA
测量分辨率和SMU/AUX路径切换
两种模数转换器可供选择(高分辨率ADC或高速ADC)
SMU类型(HPSMU、MPSMU和HRSMU)
Keysight B1500A半导体分析仪

Keysight B1500A半导体参数分析仪操作说明书

精密电压和电流测量
(0.5 µV 和 0.1 fA 分辨率)
– 低电压和小电流的精确表征。
用于多频率(1 kHz 至 5 MHz)电容测量
(CV、C-f 和 C-t)与电流/电压(IV)测量切换的高精度和低成本解决方案。
– 无需重新连接电缆即可在 CV 和 IV 测量之间进行切换
– 保持出色的小电流测量分辨率
(使用 SCUU 时很小为 1 fA,使用 ASU 时很小为 0.1 fA)
– 为被测器件提供完整的 CV 补偿输出
超快速 IV 测量,
100 ns 脉冲和 5 ns 采样率
– 捕获传统测试仪器无法精确测量的超快速瞬态现象
超过 300 种应用测试即时可用 – 缩短从学习仪器使用、进行测量到熟练操作仪器所需的时间
包含示波器视图的曲线追踪仪模式 – 交互式地开发测试,并即时查看器件特征
– 无需使用任何其他设备便可对电流和电压脉冲进行验证
(MCSMU 提供示波器视图)
功能强大的数据分析和稳定可靠的数据管理 – 自动分析测量数据,无需使用外部 PC
– 自动存储测量数据和测试条件,日后快速调用此信息

Keysight B1500A半导体器件分析仪模块化使用说明书

测试范围 支持的模块 主要技术指标 主要特性
直流和脉冲IV测量
 
B1510A大功率源表模块
(HPSMU)
 
高达 200 V/1 A
– 很小分辨率 10 fA/2 μV
 很小 100 μs 采样
(时域)测量
很小脉宽 500 μs, 100 μs 分辨率
准静态电容电压
(QSCV)测量, 具有泄漏电流补偿
4象限工作
– Kelvin(4 线)
连接
– 点测量、扫描
测量和其他
功能
B1511B中等功率源表模块
(MPSMU)
 
 
– 高达 100 V/0.1 A
很小分辨率 10 fA/0.5 μV
ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换
 
B1517A高分辨率源表模块
(HRSMU)
 
– 高达 100 V/0.1 A
很小分辨率 1 fA/0.5 μV
ASU 选件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切换
B1514A50µs脉冲中等
电流源表模块(MCSMU)
 
高达 30 V/1 A(0.1 A 直流) –很小脉宽 50 μs, 功能
2μs 分辨率
–示波器视图支持精确的脉冲测量
电容测量
 
B1520A多频率电容测量
单元(MFCMU)
 
频率范围为1 kHz 至 5 MHz
– SMU和SCUU提供25 V内置直流
偏置和100 V 直流偏置
 
交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t)
– 使用自动切换通过SCUU轻松、快速、
精确地进行IV和CV测量
超快速脉冲和瞬态IV测量
 
B1530A波形发生器/快速
测量单元(WGFMU)
 
用于波形生成的10 ns可编程
分辨率
–200MSa/s同时高速测量
–10V峰峰值输出
 
无负载线效应;使用 SMU 技术进行精确的
脉冲 IV 测量
– 支持 NBTI/PBTI、RTN等先进应用
脉冲生成
 
B1525A高电压
半导体脉冲
发生器单元(HV-SPGU)
 
高达±40V高电压输出
 
–能够在每个通道上生成二电平和三电平
脉冲和任意波形
–适用于非易失性存储器测试
超快速脉冲高k/SOI测试
 
B1542A 10ns脉冲IV参数
测试解决方案
 
很小选通脉宽 10 ns,上升和下降
时间为2 ns
–1µs电流测量分辨率
–精确的Id-Vd和Id-Vg测量
–在直流测量和脉冲测量之间轻松切换
文章来源于B1500A半导体参数分析仪
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