4200A-SCS参数分析仪
4200A-SCS参数分析仪 是一款可定制，可集成，模块化的高性能分析仪器。可以对半导体的参数进行详细的分析。同时可对I-V、C-V和超快脉冲I-V进行测试及快速切换，并能加速半导体器件、材料和工艺开发的可靠性和故障进行研究并分析。内置嵌入式测量装置的专业知识和数百个现成的应用程序，用户可以根据需求选择适合的程充对半导体参数进行分析；也可以根据需求进行定制模块，以达到满意的测试要求。用户可通过提供现场可安装单元和可选的前置放......
产品描述
4200A-SCS参数分析仪是一款可定制，可集成，模块化的高性能分析仪器。可以对半导体的参数进行详细的分析。同时可对I-V、C-V和超快脉冲I-V进行测试及快速切换，并能加速半导体器件、材料和工艺开发的可靠性和故障进行研究并分析。内置嵌入式测量装置的专业知识和数百个现成的应用程序，用户可以根据需求选择适合的程充对半导体参数进行分析；也可以根据需求进行定制模块，以达到满意的测试要求。用户可通过提供现场可安装单元和可选的前置放大器模块，确保可以在几乎没有停机时间的情况下进行很准确的低电流测量。
4200A-SCS参数分析仪操作说明书特点
随时可用、可修改的应用程序测试、项目以及缩短测试开发时间的设备
内置包括中文、英文、日语和韩语的测试视频
针-垫接触检查确保可靠测量
从多个测试中选择数据并组合项目级分析中的参数
数据显示、分析和运算功能
4200-SMU系列参数分析仪的I-V源测量单元模块
±210V/100mA或±210V/1A模块
100fA测量分辨率
带可选前置放大器的10aA测量分辨率
10mHz–10Hz极低频电容
4200-CVU系列参数分析仪的C-V多频电容单元模块
交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t）
1kHz–10MHz频率范围
±30V（60V差分）内置直流偏置，可扩展至±210V（420V差分）
I-V和C-V之间的简单切换
使用可选的CVIV多功能开关进行测量可测量：100µF负载电容，四象限运行，2线或4线连接
4200-PMU系列参数分析仪的模块
两个独立或同步的通道
高速脉冲I-V源及测量
200MS/s，5ns采样率
±40V（80Vp-p），±800mA
瞬态波形捕获模式
多电平脉冲任意波形发生器
4200-CVIV参数分析仪的多开关模块
在I-V和C-V测量之间轻松切换
无需重新布线或提升探针针
将C-V测量值移动到任何终端，无需重新布线或提升探针针
±210V直流偏压
文章来源于Keithley 4200A-SCS参数分析仪
4200-RPM参数分析仪的远程前置放大器/开关模块
自动在I-V、C-V和超快脉冲I-V测量
扩展4225-PMU的电流灵敏度到几十 picoamps
减少电缆电容效应
4200系列参数分析仪的操作说明书模块参数
| Model | Description | Key Measurements | Range | Measure Resolution |
| 4200-SMU | Medium Power Source-Measure Unit |
DC I-V Very Low Frequency C-V QSCV |
±100mA，±210V |
0.2µV， 100fA |
| 4201-SMU |
Medium Power SMU with increased low I stability |
|||
| 4210-SMU |
High Power Source-Measure Unit |
±1A，±210V |
||
| 4211-SMU |
High Power SMU with increased low I stability |
|||
| 4200-PA | Remote Preamplifier Module | Extends current ranges for all SMUs | 0.2µV， 10aA | |
|
4210-CVU |
Capacitance-Voltage Unit |
AC Impedance C-V，C-f，C-t |
1kHz – 10MHz ±30V built-in DC bias (60Vdifferential) ±210V DC bias with SMUs 100mV AC drive |
1aF， 1nS， 0.001 degree |
|
4215-CVU |
High Resolution Capacitance-Voltage Unit |
AC Impedance C-V，C-f，C-t |
1kHz–10MHz ±30Vbuilt in DC bias (60Vdifferential) ±210V DC bias with SMUs 1V AC drive |
1kHz 1aF， 1nS， 0.001 degree |
| 4200A-CVIV | I-V/C-V Multi-Switch Module | DC I-V and C-V with Automatic Switching | — | — |
|
4225-PMU |
Ultra-Fast Pulse Measure Unit |
Pulsed I-V SegmentARB Multi-level Pulsing Transient Waveform Capture |
±40V (80Vp-p)， ±800mA 200MS/s simultaneous I and V measure 2048unique segments 20ns PW source only 60ns PW source/measure |
75nA |
| 4225-RPM | Remote Preamplifier/Switch Module | Enables automatic switching between SMU， CVUandPMU | Extends current range of 4225-PMU unit | 200pA |
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4220-PGU |
High Voltage Pulse Generator Unit |
Pulsed Voltage Source SegmentARBMulti-level Pulsing |
±40V (80Vp-p) 2048 unique segments |
— |
| Ground Unit | Built-in，Low Noise Ground Unit | — |
Triaxial connection：2.6 A Binding post：9.5 A |
— |
4200A-SCS参数分析仪将操作简单化，从设置到运行的测试时间缩短多达50%，进而提高测量和分析能力。此外，嵌入式的测量专业知识为用户提供了直观的测试指导，为用户提供高效的测量结果增强了信心。可以用于DC IV、CV和脉冲IV测量的高级测量；Clarius软件中包含几百个应用程序测试，用户可以根据自身的需求进行修改，并立即开始测试；还可以自动实时参数提取、数据绘图，参数化洞察，快速而清晰。使用Keithley4215-CVU电容电压单元可以测量个位数飞法拉和测量电容、电导和导纳。通过将1V交流电源集成到KeithleyCVU架构中，4215-CVU可在1kHz至10MHz的频率下提供低噪声的电容测量。同类产品中是靠前款能够驱动1VAC电源电压的CV表，测试频率的分辨率从1kHz到10MHz，使用4200A-CVIV多功能开关测量多达四个通道。
