表面电阻测试仪的原理及使用要领

利用直流四探针法测量半导体的电阻率

一，表面电阻测试仪测试原理：

当四根金属探针排成一条直线，并以一定压力压在半导体材料上时，在1，4两根探针之间通过电流I，则2，3探针之间产生电位差V。 根据公式可计算出材料的电阻率：其中，C为四探针的探针系数(cm)，它的大小取决于四根探针的排列方法和针距。

二，仪器操作：
(一)测试前的准备：

1，将电源插头插入测试仪器背面的电源插座，电源开关置于断开位置：

2，工作方式开关置于"短路"位置，电流开关处于弹出位置：

3，将手动测试架的屏蔽线插头与电气箱的输入插座连接好：

4，对测试样品进行一定的处理(如喷沙，清洁等)：

5，调节室内温度及湿度使之达到测试要求。

(二)测试：首先将电源开关置于开启位置，测量选择开关置于"短路"，出现数字显示，通电预热半小时。

1，放好样品，压下探头，将测量选择开关置于"测量"位置，极性开关放置在开关上：

2，选择适当的电压量程和电流量程，数字显示基本为"0000"，若末位有数字，可旋转调零调节旋钮使之显示为"0000"：

3，将工作方式开关置于"I调节"，按下电流开关，旋动电流调节旋钮，使数字显示

为"1000"，该值为各电流量程的满量程值：

4，再将极性开关压下使数显也为1000±1，退出电流开关，将工作方式开关置于1或6。28处(探头间距为1。59mm时置于1位置，间距为1mm时置于6。28位置)： (调节电流后，上述步骤在以后的测量中可不必重复：只要调节好后，按下电流 开关，可由数显直接读出测量值。)

5，若数显熄灭，仅剩"1"，表明超出该量程电压值，可将电压量程开关拨到更高档：

6，读数后，将极性开关拨至另一方，可读出负极性时的测量值，将两次测量值取平均数

即为样品在该处的电阻率值。

三，表面电阻测试仪使用应注意事项：

1，压下探头时，压力要适中，以免损坏探针：

2，由于样品表面电阻可能分布不均，测量时应对一个样品多测几个点，然后取平均值：

3，样品的实际 电阻率还与其厚度有关还需查附录中的厚度修正系数进行修正。

此文章来自银飞